Особенности изготовления СВЧ МИС с применением фотолака при формировании заземляющей плоскости над активной поверхностью кристалла
В последнее десятилетие серьезное внимание в электронике уделяется разработке элементной базы СВЧ — техники и силовой электроники на основе нитридных соединений элементов III группы. Развитие указанных приборов определяется необходимостью освоения новых более высоких частотных диапазонов, повышения мощности приборов, линейности их характеристик и улучшения эффективности. Перспективы разработки следующего поколения СВЧ техники связаны с прогрессом в развитии…
