Особенности автомобильного рынка МЭМС

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) на основе травленного кремния нашли свое применение в качестве альтернативы датчикам давления в промышленной технике и системах с жесткими условиями эксплуатации еще в 1980-х гг. В 1990-х гг. МЭМС-устройства получили массовое применение в датчиках автомобильных подушек безопасности. С тех пор МЭМС-устройства использовались в качестве датчиков «падения» для жестких дисков, прежде чем нашли…