Новый формат компактных кремниевых фабрик – как решение для микроэлектроники России.
Рассмотрены тенденции современного производства полупроводниковых пластин Прим. редакции. Рисунки и талица размещены в конце статьи Дмитрий Боднарь, к.т.н., генеральный директор, ЗАО «Синтез Микроэлектроника» Увеличение диаметра пластин и снижение проектных топологических норм является неотъемлемой частью истории развития полупроводниковой микроэлектроники. За более чем 50-летнюю историю производство полупроводников прошло путь от пластин диаметром 25 мм до…