НИИМЭ и НИИТМ первыми в России разработала оборудование для техпроцесса 65-нм на пластинах до 300 мм
НИИМЭ и НИИТМ первыми в России разработала оборудование для техпроцесса 65-нм на пластинах до 300 мм 11 декабря 2025, Москва – Научно‑исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ (оба входят в Группу компаний «Элемент», MOEX:ELMT) завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Установки позволят выпускать интегральные…










