Резонаторы pMEMS как альтернатива кварцевым резонаторам

Существует несколько альтернатив кварцевым резонаторам. Данная статья посвящена МЭМС-резонаторам. Их отличает высокое быстродействие, компактность и надежность. Резонатор pMEMSсостоит из пьезоэлектрической подложки AlN и кристалла кремния. В отличие от чисто кремниевых емкостных резонаторов для их работы не требуется напряжение смещения. Структурная схема резонатора представлена на рисунке 1. Рис. 1. Структурарезонатора pMEMS   При приложении электрического поля…